以下以某變壓吸附SF6/N2混合氣體分離裝置為例，簡述SF6/N2混合氣體分離過程，裝置流程圖如圖6-5所示。首先使混合氣體經(jīng)過濾器濾掉水蒸氣和其他雜質(zhì)，然后充人主吸附器。
分離裝置有兩個主吸附器，里面充滿Ca-A型沸石，這樣，一個吸附氣體時，另一個可以釋放氣體，使系統(tǒng)可以連續(xù)工作，提高工作效率。輔助吸附器里面充滿了Na-X型沸石。
分離的步驟如下:
(1) 將過濾后的混合氣體充人一個主吸附器中。這時，N2幾乎全部被吸附，而大部分SF6氣體可以穿過它到達液化系統(tǒng)。
液化系統(tǒng)由壓縮機和冷卻管組成。
(2) 在液化系統(tǒng)中，SF6氣體被壓縮、冷卻和液化。將液態(tài)SF6儲存到液化罐中，液化系統(tǒng)中剩余的氣體是SF6/N2混合氣體，再通過緩沖罐再次充人主吸附器。
(3) 主吸附器內(nèi)吸附的N2和少量SF6氣體被充人輔助吸附器。SF6氣體被吸附，N2就可以直接排放到大氣中。實驗測得最后直接排放到大氣中的氣體中SF6氣體的體積濃度僅為0.06μL/L，變壓吸附法分離裝置每分鐘能處理氣體13L，可以滿足實際應用的要求。
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